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7月30日,据台媒报道,台积电公司先进工序的南科18a厂,29日晚间惊传工序出状况,部分产线停摆,30日上午,供货商全数被挡在厂区外。
据报道,此前有供应商透露,出状况的原因应该是氧气供应受到污染,由于牵涉工序相当多,台积电自29日晚至30日早上已忙成一团。台积电30日证实,有部分来自厂商供应的氧气疑似受到污染,已实时调度其他气体供应,此现象对生产线并无造成显著影响,芯片仍正常生产。
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但报道指出,目前供货商都被挡在门外,且有消息称30日12时台积电18厂举行生产会议,由此判断,生产应该受到了影响。
半导体从业者表示,半导体生产工序多达700多道,约有270道需使用氧气,包括蚀刻、扩散,几乎都是核心工序;且台积电18a厂处理的是目前台积电最先进的5纳米核心工序,目前的生产项目又是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和美国超威半导体(AMD)的新一代处理器。
半导体从从业者认为,此刻发生氧气污染,恐怕是直中台积电要害,但预计台积电会全力排除相关问题,尽快让生产线恢复,详细影响还有待台积电进一步说明。

作者 scforum

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